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微电子行业用超纯水设备主要特点
1、脱盐率大于99.9%,效率远远高于两级反渗透和单纯的离子交换。
2、电脑元件用超纯水设备的自动化程度高,易维护,可设计成完善的膜技术高纯水生产线。
3、离子交换树脂不需用酸碱再生,节约大量酸碱和清洗用水,降低劳动强度。
4、清洁生产,无废水处理问题,利于。
5、电脑元件用超纯水设备采用的---技术较传统的离子交换法脱盐节约树脂95%以上。
6、占地面积小,单一系统连续运转,不需建设备用系统。
7、微电子行业用超纯水设备的产水电阻率15~18mω·cm,ph6.5~7.0,实验室用高纯水机价格,硅<1.0ppb,实现了无菌。
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